据财联社,ASML在官网发布声明称,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销,影响了中国大陆的一小部分客户。ASML还称,公司在最近与美国政府的讨论中,获得了美国出口管制规定范围和影响的进一步厘清。美国去年10月17日公布的出口管制新规,对用于一些先进生产设施的某些次关键DUV浸没光刻系统施加了限制。
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